NexION 5000 多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成。其创新设计达到和超过如半导体、生物监测和其他应用领域严苛的痕量和超痕量元素检测要求。NexION 5000性能超越了传统的三重四极杆技术，提供低背景等效浓度和出色的检测极限，确保了结果的精度和可重现性。NexION 5000 ICP-MS具有：

• 1、卓越的干扰消除能力

• 2、出色的背景等效浓度(BECs)

• 3、无与伦比的基体耐受性

• 4、符合SEMI S2/S8法规和安规要求